X熒光光譜儀中的濾光片由幾片金屬片組成。一般安裝在X光管和試樣之間，主要是利用濾光片的吸收特性來減少X光管輻射的靶物質特征X射線、雜質線和背景信號。

濾光片的材質常見的有Cu、Ni、Al、Zr等，不同的元素可根據實際選擇是否使用濾光片，或者使用不同材質和厚度的濾光片。使用濾光片會降低X熒光的強度，一般在無明顯譜線干擾的情況下，優先選擇不加濾光片。

以常見帶Rh靶的X光管為例，在對樣品測試時，不使用濾光片條件下，樣品中CdKα與靶材的RhKβ2線重疊，即樣品中Cd的測試受到靶材中Rh元素的干擾，易導致實際結果出現誤差；

當使用0.3mm黃銅濾光片后，可以明顯觀察到Rh靶的特征譜線被消除，樣品中CdKα能被分辨出來，可正常檢測。

如圖中所示，濾光片會降低背景噪音，同時也會降低譜峰的強度，但是峰背比得到較大的提升。